Bahagian Mesin CNC Semikonduktor
Kami mengeluarkan adatbahagian mesin CNC semikonduktordaripada lukisan pelanggan dan fail CAD, termasukkomponen kebuk vakum, plat dan kelengkapan pengedaran gas, bahagian pengendalian dan pengapit wafer, komponen pam dan injap, bahagian RF, plat penyejuk, sink haba dan komponen kit proses. Keupayaan pemusingan, pengilangan, pemesinan 5-paksi CNC kami, Swiss CNC dan kilang pusing-menyokong komponen toleransi ketat untuk goresan, pemendapan, litografi, implantasi ion, CMP dan peralatan metrologi.
Bahagian peralatan semikonduktor hidup dalam dunia yang berbeza daripada bahagian industri biasa: ia mesti bertahanvakum, gas proses menghakis, plasma, kitaran suhu dan keperluan kawalan-zarah. Oleh itu pemilihan bahan adalah keputusan pertama dalam mana-mana projek pemesinan semikonduktor. Kami membuat gred tepat -316L VIM-VAR dan 316L tahan karat, aluminium 6061-T6 dan 7075-T6, titanium Gred 5, TZM molibdenum, kuprum OFHC C10100, aloi nikel dan plastik kejuruteraan PEEK/PTFE- dan gunakan kemasan cleanroom-serasi di mana aplikasi memerlukannya. Alat ganti dikilangkan mengikut dimensi tertentu, toleransi, bahan dan keperluan kemasan, dengan sijil bahan tersedia atas permintaan.
Daripada prototaip tunggal untuk pembangunan alat baharu kepada pengeluaran berulang untuk kit proses ganti, kami memesin komponen semikonduktor kepada lukisan - tidak kira kuantiti.
Bahagian Mesin CNC untuk Aplikasi Semikonduktor
Peralatan Etch & Deposition
Badan kebuk · pelapik ruang · plat pengedaran gas · pemasangan elektrod · gelang fokus · gelang pengapit · bahagian pelekap kepala pancuran
Bahan:6061-T6 · 316L VIM-VAR · Gred 5 titanium
Sistem Vakum & Penghantaran Gas
Bebibir vakum (CF/KF/ISO) · komponen injap pintu · kelengkapan saluran gas · VCR-pengdap muka jenis · blok manifold · bahagian pelekap pam
Bahan:316L VIM-VAR · 316L · 304L · 6061-T6
Pengendalian & Pengangkutan Wafer
Lengan robot · pengesan hujung · pengapit wafer · cengkaman tepi · komponen kaset · bahagian lif dan garpu · pelekap kinematik
Bahan:6061-T6 · 7075-T6 · · C17200 tembaga berilium · Gred 5 titanium
Implantasi Ion & Bahagian Beamline
Komponen garis pancaran · elektrod · apertur · bahagian penindasan dan pengekstrakan · -perisai suhu tinggi
Bahan:TZM molibdenum · Tungsten W · Ta-2.5W tantalum
Komponen Kuasa RF & Plasma
Penyambung RF · perumah suapan · pemegang elektrod · bahagian pelindung · spring sesentuh
Bahan:C10100 OFHC tembaga · C11000 · C17200 · 6061-T6 · 316L
Pengurusan Terma & CMP
Plat penyejuk · komponen penyejuk · sink haba · Bahagian kepala CMP · gelang penahan · komponen plat
Bahan:C10100 OFHC tembaga · 6061-T6 · 316L
Metrologi & Peralatan Pemeriksaan
Lekap optik · komponen pentas · plat asas · lekapan penjajaran · bahagian pelekap kinematik
Bahan:6061-T6 · 7075-T6 · Gred 5 titanium
Peralatan Pemprosesan & Pembersihan Basah
Komponen tangki dan tab mandi · lengan semburan · pemegang muncung · bahagian penggelek dan berus · kelengkapan kalis kimia-
Bahan:316L · Hastelloy C-276 · Gred 2 titanium
Bahagian Mesin CNC Semikonduktor Kami Keluarkan
Komponen Kebuk Vakum
Badan ruang, penutup, pelapik dan cincin pelekap dengan kerataan terkawal, permukaan pengedap dan keperluan gas keluar yang rendah.
Bahan:6061-T6 · 316L VIM-VAR · 316L
Bebibir & Kelengkapan Vakum
Bebibir CF (ConFlat), KF dan ISO, puting, penyesuai dan kelengkapan talian gas untuk perkhidmatan UHV.
Bahan:316L VIM-VAR · 316L · 304L
Plat & Nozel Agihan Gas
Ketepatan-plat pengedaran gerudi, muncung penyuntik dan perkakasan pelekap kepala pancuran.
Bahan:6061-T6 · Gred 5 titanium · 316L
Pengapit Wafer, Cincin & Cengkaman
Gelang fokus, gelang pengapit, genggaman tepi dan panduan wafer dengan kerataan yang ketat dan kawalan dimensi.
Bahan:6061-T6 · C17200 · Gred 5 titanium
Lengan Robot & Pengesan Akhir
Lengan pemindahan wafer, garpu dan pengesan hujung dengan berat seimbang, kekakuan dan kawalan zarah.
Bahan: 7075-T6 · 6061-T6 · C17200
Komponen Pam & Injap
Perumah, rotor, ram, poppet, tempat duduk dan bahagian batang untuk pam kering, injap pintu dan-perkakasan kawalan aliran jisim.
Bahan:316L · 17-4 PH · Hastelloy C-276
Kit Proses & Bahagian Boleh Habis
Bahagian kit boleh diganti direka untuk pesanan berulang dengan toleransi dan kebersihan yang konsisten.
Bahan:6061-T6 · Gred 5 titanium · 316L VIM-VAR
Plat Penyejuk & Sinki Haba
Pinggan-air yang disejukkan, sink haba dan bahagian penyejuk dengan permukaan kritikal-kerataan.
Bahan:C10100 OFHC tembaga · 6061-T6 · 316L
RF & Komponen Kenalan
Perumah RF, bahagian penyambung, spring sesentuh dan komponen pelindung EMI.
Bahan: C10100 · C11000 · C17200 · 6061-T6
Mempunyai Bahagian Semikonduktor Tersuai? Hantar Fail CAD Anda
Proses Pemesinan CNC untuk Bahagian Semikonduktor
CNC Turning
Terbaik untuk:Kelengkapan · puting · batang injap · pemutar pam · muncung
Ideal untuk komponen silinder dengan kepekatan yang ketat.
Pengilangan CNC
Terbaik untuk:Badan kebuk · plat asas · manifold · kurungan
Sesuai untuk komponen rata, prismatik dan berbilang{0}}ciri.
Pemesinan CNC 5-Paksi
Terbaik untuk:Pengesan akhir · perumah kompleks · Komponen RF
Mesin geometri kompleks dan sudut kompaun dalam satu persediaan.
CNC Turn-Pengilangan
Terbaik untuk:Kelengkapan talian gas · gandingan bahagian dengan ciri giling
Menggabungkan pusingan dan pengilangan untuk bahagian putaran yang kompleks.
Pemesinan CNC Swiss
Terbaik untuk:Kelengkapan kecil · komponen sensor · pin ketepatan
Direka bentuk untuk komponen ketepatan volum yang kecil, langsing dan{0}}tinggi.
Pengisaran & Pengasah CNC
Terbaik untuk:Permukaan pengedap · tempat duduk galas · gerek ketepatan
Digunakan untuk diameter kritikal, muat dan kemasan cermin (Ra 0.1–0.4 μm boleh dicapai).
Bahan Pemesinan CNC Semikonduktor
Untuk komponen semikonduktor, pemilihan bahan bergantung kepadakeserasian vakum, kimia proses, rintangan plasma, suhu, kemagnetan, penjanaan zarah dan pengurusan haba. Kami memesin pelbagai logam dan bahan plastik kejuruteraan untuk ruang, sistem gas, pengendalian wafer, RF dan bahagian terma.
| bahan | Gred Biasa | Aplikasi Semikonduktor Biasa | Kelebihan Utama |
|---|---|---|---|
| aluminium | 6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32 | Badan kebuk, plat asas, lengan robot, sink haba, kurungan | Ringan, anodizable, kekonduksian terma yang baik; 6061-T6 ialah kuda kerja untuk perkakasan ruang |
| Keluli Tahan Karat | 304L · 316L · 316L VIM-VAR · 17-4 PH (630) | Bebibir vakum, kelengkapan gas, bahagian injap, perkakasan berkekuatan-tinggi | Rintangan kakisan dan suhu; 316L VIM-VAR ialah standard untuk perkhidmatan keluar gas rendah-UHV |
| titanium | Gred 2 (CP) · Gred 5 (Ti-6Al-4V) | Bahagian pengedaran gas, kit proses, perkakasan pemprosesan basah | Rintangan plasma dan kimia, kekuatan tinggi-kepada-berat, bukan-magnet |
| Tembaga | C10100 (OFHC) · C11000 · C17200 tembaga berilium | Bahagian RF, plat penyejuk, spring sesentuh, perkakasan elektrik | Kekonduksian elektrik dan haba yang sangat baik; OFHC sesuai untuk RF dan pengurusan haba |
| Aloi Nikel | Inconel 718 · Hastelloy C-276 · Invar 36 | Kelengkapan-bahan kimia,{1}}bahagian suhu tinggi, struktur metrologi | Rintangan kimia dan suhu; Invar 36 menawarkan hampir-pengembangan haba sifar |
Mengapa 316L VIM-VAR?Untuk komponen vakum ultra-tinggi-(UHV), kami membuat mesin316L VIM-VAR- dua kali ganda-tahan karat cair dengan kandungan dan kemasukan gas yang sangat rendah. Ia kurang mengeluarkan gas, mengimpal dengan lebih mudah dijangka dan kekal bersih dalam perkhidmatan vakum. Jika lukisan anda menyatakan VIM-VAR atau 316L yang digilap, kami boleh membekalkan bahan dengan pensijilan penuh.
Pemilihan Bahan untuk Persekitaran Vakum & Bilik Bersih
Keserasian Vakum & Gas Keluar
Bahan di dalam ruang tidak boleh mengeluarkan gas atau memerangkap zarah. 316L VIM-VAR, 6061-T6 ialah pilihan biasa; keliangan dan kemasan permukaan dikawal untuk memastikan gas keluar rendah.
Rintangan Kimia & Plasma
Gas proses halogen dan terfluorinasi menyerang banyak logam. TZM molibdenum, Ta-2.5W, Hastelloy C-276, Gred 5 titanium dipilih untuk kimia menghakis dan pendedahan plasma.
Kawalan Zarah & Pencemaran
Haus, tepi dan serpihan terperangkap menjana zarah yang membunuh hasil. Kami membersihkan setiap tepi, mengawal kekasaran permukaan dan membersihkan bahagian mengikut piawaian bilik bersih sebelum pembungkusan.
Pengurusan Terma
Haba menjejaskan keseragaman proses. C10100 OFHC kuprum dan 6061-T6 digunakan untuk plat penyejuk dan sink haba; TZM dan tungsten mengendalikan beamline suhu tinggi dan bahagian ruang.
Sifat Magnetik & Elektrik
Sesetengah proses memerlukan-bahan bukan magnet seperti 316L, titanium Gred 5; RF dan perkakasan pembumian menggunakan kuprum OFHC C10100 dan kuprum berilium C17200.
Ketepatan & Kestabilan
Bahagian metrologi dan litografi memerlukan kestabilan dimensi: aluminium 6061-T6 dan 7075-T6, titanium Gred 5 memegang geometri melalui perubahan suhu.
Toleransi & Spesifikasi Pemesinan CNC Semikonduktor
Komponen semikonduktor selalunya memerlukan ketepatan tahap-mikron pada muka pengedap, datum pelekap,-permukaan sentuhan wafer dan gerek ketepatan, jadi alatan dipasang dengan betul dan proses kekal berulang.
| Spesifikasi | Keupayaan Biasa | Aplikasi Semikonduktor Biasa |
|---|---|---|
| Dimensi Linear | ±0.01 mm (ketepatan hingga ±0.005 mm) | Bahagian ruang, plat asas, manifold |
| Diameter Gergaji & Aci | ±0.005–0.01 mm | Rotor pam, batang injap, kelengkapan ketepatan |
| Kerataan | Turun kepada 0.01 mm/100 mm | Muka pengedap, plat penyejuk, lekap kinematik |
| Konsentrisitas / Runout | Turun kepada 0.01 mm | Bahagian pam berputar, gandingan |
| Kedudukan Benar | ±0.01 mm | Corak lubang-bolt, lubang pengedaran gas |
| Kekasaran Permukaan | Ra 0.2–0.8 μm standard; Ra 0.1–0.4 μm atas permintaan | Muka pengedap, wafer-permukaan kenalan, bahagian dalam ruang |
| Deburring Tepi | Dikawal setiap lukisan (mikro-deburr tersedia) | Semua zarah-bahagian kritikal |
| Toleransi Benang | Mengikut keperluan ISO / ASME | Kelengkapan, bebibir, perkakasan pelekap |
Ciri Kritikal Yang Kami Kawal
Pengedap & -Alur Cincin- terkawal kedalaman, lebar dan kemasan permukaan untuk pengedap vakum dan bendalir.
Wafer-Contact Surfaces- kawalan kerataan dan kekasaran untuk mengelakkan kerosakan wafer dan penjanaan zarah.
Ketepatan Bores & Fits- gerek tepat untuk galas, aci dan{1}}komponen muat tekan.
Lubang Pengagihan Gas- saiz lubang tepat, kedudukan dan deburring untuk aliran gas seragam.
Ciri Datum & Pemasangan- datum yang konsisten untuk pemasangan dan penjajaran yang boleh diulang.
Kemasan Permukaan untuk Bahagian CNC Semikonduktor
Kemasan permukaan adalah sebahagian daripada strategi pencemaran dan kakisan dalam peralatan semikonduktor. Kemasan yang betul mengawal zarah, keluar gas, rintangan kimia dan tingkah laku elektrik.
| Kemasan Permukaan | Bahan Berkenaan | Bahagian Semikonduktor Biasa | Faedah Utama |
|---|---|---|---|
| Penggilap elektrik | 316L VIM-VAR · 316L · 304L | Bebibir vakum, talian gas, pelapik ruang | Mengeluarkan bahan permukaan dan kemasukan; mengurangkan gas keluar dan perangkap zarah |
| Pasif | 316L · 304L · 17-4 PH | Kelengkapan, pengikat, bahagian injap | Mengeluarkan besi bebas, meningkatkan rintangan kakisan |
| Jenis II Anodizing | 6061-T6 · 6063-T5 | Badan kebuk, plat asas, kurungan | Penebat, lapisan tahan kakisan-; pilihan warna |
| Penganodan Keras (Jenis III) | 6061-T6 · 7075-T6 | Pakai permukaan, panduan, bahagian robot | Lapisan pelindung yang keras dan tahan haus-. |
| Penyaduran Nikel Tanpa Elektro | 6061-T6 · 7075-T6 · Keluli | Perkakasan ruang, bahagian kit proses | Haus seragam dan perlindungan kakisan |
| Saduran Emas | C10100 · C11000 · 6061-T6 | Kenalan RF, bahagian penyambung | Rintangan sentuhan rendah, perlindungan kakisan |
| Penyaduran timah | C10100 · C11000 | Konduktor elektrik, bar bas | Kebolehpaterian dan perlindungan kakisan |
| Letupan Manik | 6061-T6 · 316L · Keluli | Perumahan, penutup, permukaan tidak-kritikal | Kemasan matte seragam (dikawal untuk pelepasan zarah) |
| Pembersihan Bilik Bersih | Semua bahan | Semua bahagian sebelum pembungkusan | Pembersihan ultrasonik berbilang-peringkat, tiada minyak, tiada sisa, zarah-terkawal |
Kawalan Kualiti Pemesinan CNC Semikonduktor
Kami memeriksa dimensi kritikal, kesesuaian, kerataan, kehabisan dan keperluan permukaan sepanjang pengeluaran untuk memastikan bahagian semikonduktor mesin CNC memenuhi lukisan. Untuk projek yang memerlukan kualiti yang didokumenkan, kami boleh membekalkan sijil bahan, laporan dimensi dan dokumentasi kebersihan untuk menyokong pemeriksaan masuk anda.
Pengesahan Bahan
Pengesahan Bahan
Pemeriksaan Dimensi
Pemeriksaan GD&T
Pemeriksaan Benang
Pemeriksaan Penamat Permukaan
Pemeriksaan Akhir
Pemeriksaan Pembungkusan
| Item Pemeriksaan | Peralatan / Kaedah | Bahagian Semikonduktor Biasa |
|---|---|---|
| Pemeriksaan Dimensi | CMM · Angkup · Mikrometer | Dimensi bahagian keseluruhan |
| Diameter Gergaji & Aci | Tolok Bor · Tolok Pin · CMM | Rotor pam, batang injap, kelengkapan |
| Kerataan & Paralelisme | Plat Permukaan · CMM | Mengedap muka, menyejukkan plat |
| Kedudukan Benar | CMM | Corak lubang, plat pengedaran gas |
| Kekasaran Permukaan | Penguji Kekasaran | Mengedap muka, wafer-permukaan kenalan |
| Pemeriksaan Benang | Go/No-Go Thread Gauges | Kelengkapan dan pengikat |
| Pengesahan Bahan | Spektrometer + Sijil Bahan | Bahan mentah masuk (EN 10204 3.1 tersedia; pensijilan VIM-VAR atas permintaan) |
| Pemeriksaan Kebersihan | Pemeriksaan Visual + Zarah atas Permintaan | Bilik bersih{0}}menghantar bahagian |
| Pemeriksaan Akhir | CMM + Laporan Pemeriksaan | Penerimaan dimensi akhir |
Prototaip &{0}}Pemesinan CNC Volum Rendah untuk Semikonduktor
Projek semikonduktor selalunya bermula dengan prototaip - reka bentuk alat baharu, pembangunan kit proses, naik taraf bahagian atau komponen gantian yang mesti disahkan sebelum pengeluaran. Kita sokongprototaip dan pemesinan CNC{0}}volume rendahdaripada sampel awal untuk mengulangi-pesanan kelompok kecil.
Pemesinan Prototaip
Untuk pembangunan alat baharu, pengesahan proses dan perubahan reka bentuk.
Kuantiti Biasa:1–10 pcs
Pengeluaran-Volume Rendah
Untuk sistem perintis, peningkatan alat dan pengeluaran awal dijalankan.
Kuantiti Biasa:10–1,000+ pcs
Pengeluaran Ulang
Untuk kit proses ganti dan pesanan berulang dengan reka bentuk yang mantap.
Kuantiti Biasa:Berdasarkan keperluan projek
Sesuai untuk
Kebuk vakum dan perkakasan penghantaran gas
Pengendalian wafer dan komponen pengapit
Etch, pemendapan dan bahagian implantasi ion
RF, bahagian pengurusan elektrik dan haba
Metrologi dan lekapan pemeriksaan
Alat ganti dan kit proses untuk alatan sedia ada
Pembungkusan & Masa Utama untuk Bahagian CNC Semikonduktor
Pembungkusan
Perlindungan Individu:Beg PE, buih atau filem pelindung untuk permukaan mesin
Pembungkusan Bilik Bersih:Bahagian yang dibersihkan dua kali ganda-dibungkus dalam beg bersih (pilihan pembersihan-nitrogen tersedia)
Bahagian Kecil:Karton yang dibahagikan untuk mengelakkan calar dan bahagian-ke-sentuhan
Bahagian Ketepatan:Sisipan buih dan petak berasingan untuk komponen kritikal
Pembungkusan Tersuai:Nombor bahagian, label, kuantiti dan -keperluan pembungkusan khusus pelanggan
Masa Utama Biasa
| Jenis Pesanan | Masa Utama Biasa |
|---|---|
| Prototaip | 5–10 hari bekerja |
| -Turutan Kelantangan Rendah | 10–20 hari bekerja |
| Pesanan Pengeluaran | 15–30 hari bekerja |
| Repeat Order | 10–25 hari bekerja |
Soalan Lazim
S: Apakah bahagian mesin CNC semikonduktor yang boleh anda buat?
J: Kami mengeluarkan komponen ruang vakum tersuai, bebibir dan kelengkapan talian gas, plat pengedaran gas, pengapit dan gelang wafer, bahagian lengan robot, komponen pam dan injap, bahagian garis pancaran implanter ion, komponen RF, plat penyejuk, sink haba dan bahagian kit proses untuk peralatan semikonduktor.
S: Apakah toleransi pemesinan CNC yang boleh anda capai?
J: Toleransi CNC standard kami biasanya ±0.05 mm, dengan pemesinan ketepatan sehingga ±0.02 mm dan ciri kritikal terpilih kepada ±0.005–0.01 mm, bergantung pada keperluan geometri, bahan dan lukisan.
S: Bolehkah anda membekalkan 316L VIM-VAR untuk komponen vakum?
A: Ya. Untuk perkhidmatan vakum ultra-tinggi-kami boleh memesinkan 316L VIM-VAR (aruhan vakum cair dan arka vakum dicairkan semula) dengan kandungan gas rendah, dibekalkan dengan pensijilan bahan. Penggilap elektrik tersedia untuk pengurangan gas keluar dan perangkap zarah.
S: Adakah anda menawarkan bilik bersih-pembersihan dan pembungkusan yang serasi?
A: Ya. Bahagian boleh berbilang-dibersihkan secara ultrasonik, dikeringkan dan digandakan-di dalam beg bersih (pilihan pembersihan nitrogen) untuk memastikan zarah permukaan-bebas untuk penghantaran bilik bersih.
S: Bolehkah anda membekalkan sijil bahan dan laporan pemeriksaan?
A: Ya. Bergantung pada keperluan projek, kami boleh menyediakan sijil bahan (EN 10204 3.1, termasuk pensijilan VIM-VAR), laporan pemeriksaan dimensi, laporan CMM dan rekod kemasan permukaan.
S: Bolehkah anda memesin komponen bukan-magnet?
A: Ya. Kami memesin gred bukan-magnet termasuk tahan karat 316L, titanium Gred 5, aluminium 6061-T6 dan PEEK untuk aplikasi di mana kemagnetan mesti dielakkan.
S: Apakah kemasan permukaan yang anda gunakan pada bahagian semikonduktor?
J: Bergantung pada bahan dan aplikasi, kami menawarkan penggilap elektro, pempasifan, anodisasi keras Jenis II dan Jenis III, penyaduran nikel tanpa elektro, penyaduran emas dan timah, letupan manik dan pembersihan bilik bersih.
S: Adakah anda menerima lukisan 2D dan fail CAD?
J: Kami boleh bekerja daripada fail lukisan STEP, STP, IGES, IGS, SolidWorks, DXF dan 2D biasa.
S: Adakah anda menyokong prototaip dan pengeluaran-volume rendah?
A: Ya. Kami menyokong kuantiti prototaip daripada 1–10 keping,-pengeluaran volum rendah daripada 10–1,000+ keping, serta pesanan pengeluaran berulang untuk kit proses dan alat ganti.
S: Apakah masa utama biasa untuk bahagian CNC semikonduktor?
J: Masa utama biasa ialah 5–10 hari bekerja untuk prototaip, 10–20 hari bekerja untuk-pesanan volum rendah dan 15–30 hari bekerja untuk pesanan pengeluaran, bergantung pada kerumitan bahagian, kuantiti, bahan dan kemasan.
Hantar lukisan 2D atau fail CAD 3D anda, gred bahan, kuantiti, toleransi dan keperluan kemasan.
Cool tags: bahagian dimesin semikonduktor cnc, pengilang bahagian dimesin semikonduktor cnc China, pembekal, kilang, titanium
Sepasang
tidakSeterusnya
Bahagian Mesin CNC MarinAnda mungkin juga berminat
Hantar pertanyaan